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浮胶是显影或腐蚀过程中常出现的一种不良现像,也是影响较为严重的一种光刻弊病。
显影时产生的浮胶
在显影时,玻璃表面的胶膜皱起呈桔皮状或胶膜大片剥离。产生这一现像,说明胶膜与玻璃表面ITO层粘附不好,得认真找出原因。同时,出现问题的玻璃得返工。
显影时出现浮胶的原因一般有:
1)涂胶前玻璃表面清洁处理不当,表面有油污,不汽等,或玻璃清洁后在空气中放置时间过长,空气中的水汽附在玻璃表面上;或者涂膜操作环境湿度太大,使胶与玻璃表面粘附不良。因此,得注意做好玻璃表面清洁处理和操作的环境的温,湿度及清洁工作。
2)光刻胶配制有误或胶陈旧不纯,胶的光化学反应性能不好,使胶与ITO层成健能力差,或者胶膜不均匀和过厚,引起粘附不良。
3)前烘时间不足或过度。烘焙不足,胶膜内溶剂不能及时挥发,显影时部分胶膜被溶除;烘焙过度,胶膜翘曲硬化,胶的感光特性会发生变化。所以前烘得恰当。
4)曝光不足,光硬化反应不彻底,胶膜溶于显影液中,引起浮胶。因此在保证分辨率的前提下,曝光要充分。
5)显影时间太长,显影液从胶膜底部不断渗入,引起胶膜浮起。因此得控制好显影时间。
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